FOUP 输送系统的定位
日期:2021-09-21
在整个生产过程中,FOUP 输送系统的定位必须绝对准确。光学线性测量传感器 OLM100 能以 0.5 mm 的分辨率扫描最大 10 km 的总长,是理想的解决方案。所述传感器带有四个冗余的发射 LED,特别坚固,可用于长时间的故障平均时间间隔 (MTBF,Mean Time Between Failure)。


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